纳米压痕仪（Nano Indenter）
设备简介
安捷伦公司生产的NANO Indenter G200型纳米压痕仪能通过实时记录力和对应位移深度的曲线来测量纳米或微米级薄膜材料力学性能。该仪器不仅提供纳米压痕功能，同时也提供纳米划痕功能和台阶仪功能👩🦱，即不仅可以满足薄膜硬度🫏、弹性模量等性能的测量，还可实现薄膜与基体之间的结合力和定量表面形貌的测量🐤。
设备性能指标
1) 纳米压痕测试功能
＊ 压头总的位移范围 ³1.5mm ；
＊ 最大压痕深度 ³500mm 🔈；
＊ 位移分辨率 £0.01nm ；
＊ 加载模式 电磁力加载🦚；
＊ 位移测量 三片电容位移传感器🦹♀️；
＊ 最大载荷 ³500mN；
＊ 载荷分辨率 £50nN；
＊ 最小接触力 £1.0mN；
＊ 仪器框架刚度 ³5x106 N/m；
＊ 更换压头时间 £ 60s👨🔧👸🏼；
＊ 内置一个Berkovich 金刚石压头👩🏼🎤🖐🏿，顶部曲率半径: £ 20nm🤵🏻♀️；
＊ 符合ISO 14577-1，2，3国际标准🙌🏿；
＊ 实时温度测量、采集并显示。
2) 划痕测试功能
＊ 最大划痕力（Z方向） ³500 mN；
＊ 最大摩擦力（X和Y方向） ³250 mN🚹；
＊ 摩擦力分辨率（X和Y方向） £2 mN；
＊ 摩擦力的典型噪音水平（X和Y方向） £50 mN；
＊ 最大划擦深度 ³500 mm🤹🏿♀️🧜♂️；
＊ 最大划痕长度 ³100mm👵🏿🕊；
＊ 最大划痕速度 ³100mm/s；
＊ 该部分硬件应包括X方向和Y方向两个摩擦力传感器和控制系统；
＊ 系统能够扫描并显示试样表面任意方向的轮廓图,实现台阶仪功能👥🔣；
＊ 系统能够执行线性变载或恒定载荷模式下的划痕测试，并自动给出薄膜与基底材料之间的临界附着力👨🏻🍳，摩擦力和摩擦系数，划痕深度、划痕宽度、凸起高度以及材料的粘弹性恢复等力学性能☝🏽。